第354章群策群力提升半导体产业规划的可行性

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与会的半导体技术专家吕智明语气笃定地附和道：“没错。这些年，我始终关注着国内光刻机领域的研究动态，对相关研究团队也有深入了解。”

“水木大学我建议可以联系下精密仪器系的金国凡教授团队，金国凡教授作为华国光学工程学科的奠基人之一，自 1980 年起，便凭借卓越的领导才能与敏锐的行业洞察力，迅速组建起一支精锐的科研团队，一头扎进光刻机光学系统的研发工作中。”

“他在?光栅与光学系统设计领域的研究就为之前的分步投影光刻机光学设计项目提供了不少助力，这些年，他发表的多篇光刻光学领域论文，在行业内也引起了广泛关注，同时，他悉心指导研究生，在光栅与精密测量技术方面的人才培养上也取得了不小的成果。”

“另外水木大学电子工程系的周炳坤教授，身为国内顶尖的激光技术专家，从 1980 年开始，就一心扑在高稳定激光光源的研究上。”

“他研制出来的激光光源，输出功率稳定，光束质量高，对光刻机而言，是极具潜力的优质选择，我觉得有他们参与进来的话，光刻机项目有望大幅提升精度和稳定性，突破国产光刻机在光源技术上的瓶颈。”

“而且周教授如今担任着水木激光研究室主任，凭借丰富的实践经验和深厚的理论知识，主持多项与激光光源相关的科研项目。”

“在长期的研究过程中，他不仅积累了丰富的技术经验，还培养了一批优秀的科研人才，这些人才活跃在国内激光技术和光刻机研发领域，为推动行业的发展贡献着重要力量，我们应该能通过他接触到更多相关的激光技术人才。”

吕智明稍作停顿，端起面前的搪瓷杯，喝了口水润润嗓子，接着说道：“浙省大学那边同样人才济济。”

“光学仪器系的唐晋法教授，是我国光学薄膜领域的权威，前几年，他成功研发出光刻机用抗反射镀膜技术，大幅提升了光学系统的透射率，目前，他还主持着国家自然科学基金项目‘光学薄膜在微电子技术中的应用’，引领着行业的发展方向。”

“王子瑜教授也深度参与了光刻机光学系统的设计工作，在投影物镜的像差校正技术方面深入钻研，为国产光刻机光学模块的搭建，提供了重要的理论支持。若能将这些专家和团队纳入我们的研发体系，攻克光刻机核心技术难题指日可待。”

吴敬廉听完吕智明的发言，轻轻点了点头，缓缓说道：“北国春城光机所，我本来就计划和他们联系讨论研发汞灯光源的相关事宜，目前汞灯光源寿命只有 200 小时，我们需要争取将其提升到 500 小时。至于你们说的其他几个科研机构和高校团队，我也会尽快去联系。”

在后续的会议时间里，与会人员纷纷结合自身的工作经验与人脉，针对吴敬廉列出的名单各抒己见，查漏补缺。

经过一番热烈的讨论，最终形成了一个初步的半导体产业生态名单。

薄膜沉积设备领域，沈阳科学仪器厂，作为拓荆科技的前身，被规划负责研发首台国产 LpcVd 炉 SY-1，该厂技术团队技术储备丰富，对设备研发有成熟的思路，规划中的 SY-1 炉温控精度预计能达到正负 3°c，而且还能适配南京特种气体厂所产国产硅烷。

同时，会议提出推动沈阳科学仪器厂与苏维埃联盟库尔恰托夫研究所开展合作，引入 pEcVd 等离子体技术，进一步优化设备性能。

京城仪器厂则计划承接莱宝磁控溅射台的仿制工作，产品命名为 bJp-1，bJp-1 将支持铝金属化层沉积，团队拟定目标，让靶材纯度达到 99.9% 。

蚀刻设备方面，苏州净化设备厂凭借现有技术，计划自主设计石英蚀刻槽。这一蚀刻槽将与南通化工厂经提纯工艺产出的国产氢氟酸配套使用，目标实现 4 英寸晶圆的批量蚀刻。

中电科 48 所则负责推出首台 RIE 设备 RIE-89，采用 cF4 气体蚀刻多晶硅，考虑到技术和成本限制，初步设定该设备蚀刻均匀性控制在 ±10%，待技术成熟后，再向国际标准 ±5% 靠拢。

掺杂设备领域，中科院京城科仪厂规划试制 bJI-200 中束流机型，该机型能量范围设计为 20 - 150keV，束流稳定性目标达 80%，为简化设备切换步骤、提升生产效率，会议还计划推动该厂与双旦大学合作，联合开发硼磷共掺杂工艺。

原材料与耗材供应链建设部分的企业名单同样经过了充分的讨论。

硅片制备环节，洛阳单晶硅厂将通过引进日本 Ferrotec 的 mcZ 磁场直拉法技术，预定在 1988 年实现 4 英寸硅片量产，并将电阻率均匀性控制在 ±15%。

长安理工大学晶体所研发的内圆切割机金刚石刀片，国产化率已达 70%，按规划，到 1989 年，该厂抛光片粗糙度有望达到 0.5nm，逼近国际标准 0.3nm。

光刻胶与化学品方面，京城化学试剂所将联合东理大学，筹备在 1989 年量产 bJ-2 正胶，分辨率达 1.5 微米。为降低成本，有人建议推动这些企业将酚醛树脂原料更换为吉省石化产品。

魔都化学试剂厂则负责建立超净车间，将氢氟酸纯度提升至 99.999%，把金属杂质含量控制在小于 1ppb，满足芯片制造厂的严苛要求。

特种气体方面，南京特种气体厂引进漂亮国空气化工的纯化技术，预计 1989 年将硅烷纯度提升到 99.9999%，为 cVd 工艺提供支持。攀钢集团副产氩气提纯项目按计划在今年投产，届时氩气纯度将达到 99.999%。

会议室内，暖黄色的灯光洒在众人身上，周希舞认真听完众人对半导体产业规划的讨论，看到这份规划在与会人员的群策群力下，可行性大幅提升，不禁露出欣慰的笑容。

他语气中带着几分肯定：“很好！虽然规划里涉及的企业分布在全国各地，很多工作没有中央层面的支持，推动起来难度较大，但这无疑是一个可行的方向。我们就按这个思路执行，过程中遇到问题，再灵活调整。”

“另外我也打算把这份规划拿给我们的鹏城市长兼粤省副省长李皓过目，看看他能为我们提供哪些政策支持。”

“哦，对了！小秦你们三垣组织不是计划在今年年底建成五城通信的计算机网络么？到时候你这网络感觉在整合半导体产业信息方面能有大作用！”

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